/
中文
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的大规模集成电路晶圆前道薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻、去胶、离子注入及键合等设备的核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。
公司是国内技术领先、实现大批量产品交付的等离子体射频电源系统企业，产品批量交付国内龙头装备厂商拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等，并配套国内头部晶圆厂。
公司成立于2013年3月，总部位于深圳市宝安区，已获得ISO9001、ISO14001体系的认证。公司是国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家高新技术企业、“科创中国”射频开关电源创新基地、广东省2024年制造业单项冠军、广东省射频开关电源工程技术研究中心，并获得第六届中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、广东省真空科技进步一等奖、2024年“湾芯奖”之“核心零部件创新奖”、中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”和“最佳交付奖”、微导纳米“最佳合作奖”等荣誉。
公司将持续致力于半导体设备核心零部件的研发生产，为客户提供全面的一体化解决方案，践行社会责任，深耕产业，彰显担当，为国家集成电路装备产业的高质量发展贡献力量。
国家级专精特新重点"小巨人"企业
国家级专精特新小巨人
广东省制造业单项冠军
广东省知识产权示范企业
广东省射频开关电源工程技术研究中心
中芯国际-零部件模组战略供应商
中国集成电路零部件创新联盟-理事单位-2024
智能装备产业协会-副会长单位-2022
微导纳米-最佳合作奖
拓荆科技-超卓伙伴奖
深圳技术大学-MEMS技术创新与应用联合实验室
科创中国射频开关电源创新基地
哈工大-高能微波与射频电源技术联合实验室
广工大-射频开关电源技术联合实验室
广东省真空学会-副理事长单位
广东省真空科技进步一等奖
广东省半导体装备及零部件学会-理事单位
第六届IC创新奖-技术创新奖
北航-射频电源系统联合创新实验室
2024年“湾芯奖”核心零部件创新奖
2024年宝安区创新百强企业
做核心零部件解决方案的领跑者！
成为核心零部件解决方案的领跑者，是我们始终坚持的方向。我们不断提升技术深度、产品成熟度与系统化解决能力，以坚实可靠的核心力量，为客户提供核心零部件整体解决方案，为产业发展赋能。
为半导体与真空装备的国产化贡献中国力量！
我们坚信，核心零部件的自主可控，是装备产业迈向全球领先的基石。以研发为核心、以工程能力为驱动，我们以可靠、专业、卓越的产品和服务助力中国先进智能制造。
履行社会责任，做受人尊敬的企业！
尊重技术、尊重人才、以客户价值为中心，是恒运昌一以贯之的原则。我们相信，企业的发展应立足真诚、本分与专业，不断为客户、员工与社会创造可持续的价值。
