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射频电源是产生高频交流电的装置，核心工作是激发并控制等离子体。它通过功率放大和关键的阻抗匹配技术，将能量高效传递给动态变化的等离子体负载。作为高端制造的核心设备，它广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、等离子清洗等精密工艺，是现代电子工业不可或缺的“能量心脏”。
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实时功率和阻抗测量主动前面板，方便监控工作状态及进行设置
允许12台CELCOM电源工作在相同的频率和相位，输出到同一个等离子体
光伏、平板显示
MEMS制程中的刻蚀、化学气相沉积、物理气相沉积
| 工作频率 | 功率 | 冷却方式 | 尺寸 | 通讯接口 | 通讯接口（可选） |
|---|---|---|---|---|---|
| 13.56MHz | 100W 300W 1000W 1200W | 风冷 | 88.2mm(高) 483mm(宽) 504mm(深) | Analog; RS232/485; | PROFIBUS; |
| 2000W 2500W 3000W | 风冷＋水冷 | 132mm(高) 483(宽) 555.5mm(深) |
