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射频电源是产生高频交流电的装置，核心工作是激发并控制等离子体。它通过功率放大和关键的阻抗匹配技术，将能量高效传递给动态变化的等离子体负载。作为高端制造的核心设备，它广泛应用于半导体刻蚀、薄膜沉积、等离子清洗等精密工艺，是现代电子工业不可或缺的“能量心脏”。
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具备自动扫频匹配、CEX、脉冲等功能
水冷风冷两种冷却方式
扫频匹配时间小于100ms
响应时间小于10ms
脉冲频率范围10Hz-10kHz
半导体
光伏
平板显示
MEMS
| 工作频率 | 功率 | 冷却方式 | 尺寸 | 通讯接口 | 通讯接口（可选） |
|---|---|---|---|---|---|
| 40kHz | 200W 500W | 冷风 | 85mm(高) 442mm(宽) 504mm(深) | Analog; RS232/485; | DeviceNet; EtherCAT; |
| 400kHz | 200W 500W 1000W 1500W 2000W 3000W | 风冷＋水冷 | 170mm(高) 234mm(宽) 596mm(深) | Analog; RS232/485; | DeviceNet; EtherCAT; |
| 13.56MHz | 1250W 2500W 3000W | 风冷＋水冷 | 170mm(高) 234mm(宽) 596mm(深) | Analog; RS232/485; | DeviceNet; EtherCAT; |
