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射频匹配器是射频电源系统的“智能桥梁”，核心任务是解决阻抗失配问题。它通过实时监测反射功率，动态调节其内部特定的匹配网络，在变化的等离子体负载与射频电源之间构建一个畅通的“阻抗通道”，从而将能量反射降至最低，确保功率被等离子体高效、稳定地吸收，是保障工艺重复性与设备安全的关键。
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步进马达驱动真空电容，提供快速、精确、可靠的阻抗匹配
内置V/I 传感器，驻波测量调节输出幅度和相位
相位/幅度灵敏度选择装置，提供低反射功率和快匹配速度之间的选择
带多级抽头的并联和串联电感，提供宽的匹配范围
光伏、光学镀膜
微机电系统、化学气相沉积
刻蚀、物理气相沉积、原子层沉积
| 工作频率 | 功率 | 冷却方式 | 尺寸 | 通讯接口 | 通讯接口（可选） |
|---|---|---|---|---|---|
| 13.56MHz | 1500W | 风冷 | 257mm(宽) 130mm(高) 367mm(深) | Analog; RS232/485; | Profibus; |
| 5000W | 风冷 | 306mm(宽) 206.34mm(高) 449mm(深) | Analog; RS232/485; | Profibus; | |
| 8000W | 风冷 | 306mm(宽) 178mm(高) 489mm(深) | Analog; RS232/485; | EtherCAT; |
