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射频匹配器是射频电源系统的“智能桥梁”，核心任务是解决阻抗失配问题。它通过实时监测反射功率，动态调节其内部特定的匹配网络，在变化的等离子体负载与射频电源之间构建一个畅通的“阻抗通道”，从而将能量反射降至最低，确保功率被等离子体高效、稳定地吸收，是保障工艺重复性与设备安全的关键。
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单频/双频（混频单输出）/双输出/手动/自动可选
400kHz, 1MHz, 2MHz, 13.56MHz, 27.12MHz, 40.68MHz, 60MHz, 200kHz等
支持 L型、T型、π型、Gamma(Γ)型等网络拓扑，应对不同频率（如13.56MHz和400kHz）与场景需求
适应半导体工艺中复杂的负载变化
内置 V/I Sensor，实时检测输入端和负载阻抗，用于快速自动匹配和监测等离子体腔体的负载，电压，电流等变化
闭环步进马达驱动真空电容转动，内置报警监测和闭环补偿，为阻抗匹配提供精确的定位
混频与同步解调技术，实现双频阻抗等数据解析，为实现高级工艺控制（如多频协同控制、工艺终点检测）奠定基础
全数字化测量和控制系统,集成高精度阻抗测量技术和智能匹配算法,实现快速、稳定的阻抗匹配(在合适的±10%预设位置,SMA算法的匹配时间＜200ms)
智能算法自动解析输入频率（中心频率±5%）及阻抗信息等，实现宽频带的自动匹配技术，即拥有更宽的阻抗匹配范围和频率选择，不再局限于单一的中心频点
支持单级/双级/四级脉冲的射频信号检测，实现单级/多级脉冲数据解析，实现单级脉冲自动匹配和多级脉冲最高功率阶的自动匹配
微机电系统
平板显示
刻蚀
化学气相沉积
原子层沉积
物理气相沉积
| 工作频率 | 功率 | 冷却方式 | 尺寸 | 通讯接口 | 通讯接口（可选） |
|---|---|---|---|---|---|
| 450kHz | 1500W | 风冷 | 130mm(宽) 372mm(高) 240mm(深) | RS232/485; | EtherCAT; |
| 40.68MHz | 10000W | 风冷 | 251mm(宽) 480mm(高) 253mm(深) | RS232/485; | EtherCAT; |
| 13.56MHz | 3000W | 风冷 | 330mm(宽) 223mm(高) 261mm(深) | RS232/485; | |
| 13.56MHz | 6000W | 风冷 | 300mm(宽) 362mm(高) 379mm(深) | RS232/485; | EtherCAT; |
