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CSL Maple系列

等离子体直流电源是现代工业与科研的核心精密能量源。利用全新的直流和脉冲直流控制技术推动等离子工艺创新,提高沉积率,确保工艺的卓越重复性与稳定性


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CSL Maple系列

产品特性

 

自动灭弧

自动灭弧功能,储能低至5mJ,检测和关断时间可设置

 

保护设计

完善的保护设计选配控制界面

 

自定义功能

支持自定义功能开发,集成于前面板上

 

功率级别

30W-2kW

应用领域

物理、材料、光电子等科学研究试验场景

为直流溅射、偏压、刻蚀等应用场景提供高精度的直流输出

规格参数




工作频率功率冷却方式尺寸通讯接口通讯接口(可选)
NA2000W风冷    483mm(宽)
    88.2mm(高)
    504mm(深)
    Analog;
    RS232/485;
PROFIBUS;