等离子体直流电源是现代工业与科研的核心精密能量源。利用全新的直流和脉冲直流控制技术推动等离子工艺创新,提高沉积率,确保工艺的卓越重复性与稳定性
自动灭弧功能,储能低至5mJ,检测和关断时间可设置
完善的保护设计选配控制界面
支持自定义功能开发,集成于前面板上
30W-2kW
物理、材料、光电子等科学研究试验场景
为直流溅射、偏压、刻蚀等应用场景提供高精度的直流输出