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等离子体直流电源是现代工业与科研的核心精密能量源。利用全新的直流控制技术推动等离子工艺创新，提高沉积率，确保工艺的卓越重复性与稳定性
模块化和可扩展性的设计，最高可配置12台同步输出，最高可达240KW的功率
采用最前沿的智能闭环控制，实现精准稳定的高功率输出，具备微秒级电弧抑制与出色的电弧处理能力以及极低的电弧能量，专为高端磁控溅射、等离子体CVD、表面改性等先进工艺提供可靠动力，赋能尖端制造与材料创新。
精密的电弧控制，可配置的电弧响应 极低的电弧能量（小于 1mJ/1kW） 配备三级点火，最高可达1500V
输出参数精密连续可调 最大输出功率可达20KW 输出重复性高达±0.1% 双输出可用于多腔体生产 允许高达12台电源联机工作
选配控制界面支持自定义功能开发 操作简介，安装方便 多种通讯方式可供选择
半导体、光伏、平板显示、精密光学镀膜中的物理气相沉积
| 工作频率 | 功率 | 冷却方式 | 尺寸 | 通讯接口 | 通讯接口（可选） |
|---|---|---|---|---|---|
| NA | 20000W | 风冷 | 483mm（宽） 133mm（高） 639mm（深） | RS232/485 EtherCAT EtherNet Profibus Analog | DeviceNet |
