Torrent系列

远程等离子体源是一种采用空间分离设计的等离子体装置，其核心特征是将等离子体的激发区域与工艺反应区域在物理上隔开。射频能量在专用的源腔室内高效产生高密度等离子体，所生成的中性活性基团（如自由基）被定向输运至下游的工艺腔室。这种结构使基片得以避开高能离子的直接轰击和等离子体辐照损伤，同时实现了等离子体密度与离子能量的独立调控，广泛应用于对损伤敏感的半导体刻蚀、薄膜沉积和表面处理等低温工艺领域。