Calamus系列

射频交流滤波器是半导体设备电源系统的专用保护器件，其核心作用是抑制工艺腔室内产生的射频功率通过交流供电线路反向传导。滤波器通过内部特定的低通滤波网络，为高频射频干扰提供高阻抗路径，同时允许50/60Hz的交流电无阻碍通过。