Granite系列

射频阻抗调整器是射频系统中的关键调控器件，其核心功能是调整电极阻抗和电流量。在半导体制造领域，射频阻抗调整器广泛应用于等离子体工艺设备，通过对电极阻抗进行调整和补偿，保障刻蚀与沉积工艺的均匀性和重复性，提高反应速率，是提升半导体制造良率的重要保障。