V04分子泵

磁悬浮涡轮分子泵是获得清洁超高真空的核心装备。采用主动磁轴承支承转子，实现超高转速且无油污染，能快速获得清洁超高真空，广泛应用于智造太阳能电池、半导体、科研及高端镀膜等领域。