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气体质量流量控制器-3660系列

通过内部传感器实时测量气体流量,并与设定值比较,由控制器驱动调节阀快速动作,从而形成一个闭环系统,使实际流量精确稳定在目标值。

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气体质量流量控制器-3660系列

产品特性

 

高速响应

配备流量传感器,采用改进的恒流温差检测方法,实现高速响应

 

操作安全

采用常闭阀门,方向操作安全

 

高可靠性

通过电磁执行器确保高可靠性

 

燃气控制

燃气控制的低压差规格(LP选项:仅限3660)

应用领域

半导体、液晶、数据存储装置

工业真空设备、工业用镀膜

光纤通讯

实验仪器、科学分析仪器

规格参数


流量范围气体/流体电气连接接口
10SCCM~100SLMN2,AIR,H2,HE,AR,O2,CO2等Dsub 9针1/4VCR;
 1/4SW