通过内部传感器实时测量气体流量,并与设定值比较,由控制器驱动调节阀快速动作,从而形成一个闭环系统,使实际流量精确稳定在目标值。
配备流量传感器,采用改进的恒流温差检测方法,实现高速响应
采用常闭阀门,方向操作安全
通过电磁执行器确保高可靠性
燃气控制的低压差规格(LP选项:仅限3660)
半导体、液晶、数据存储装置
工业真空设备、工业用镀膜
光纤通讯
实验仪器、科学分析仪器