等离子体直流电源是现代工业与科研的核心精密能量源。采用高频开关技术与智能闭环控制,实现精确稳定的功率输出,具备微秒级电弧抑制与自适应阻抗匹配能力。专为高端磁控溅射、等离子体CVD、表面改性等先进工艺提供可靠动力,确保工艺的卓越重复性与稳定性,赋能尖端制造与材料创新。
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基本模块从0.5 KW 到30KW, 可并联多个模块输出所需要的功率。
输出回路内不会累积打弧能量,大幅降低发生打弧的机率。
动态打弧抑制电路设计(Dynamic Arc Kiler Circuit),无需复杂的软件设定,可自动清除打弧(Arc)。
自动斜率输出模式(Auto Ramp Mode),大幅降低发生打弧。90%的功率转换效率,可有效省电10% 以上。
短路自我保护设计、可避免因负载短路而造成机器损坏的可能性。
通讯介面/电源输出/输入接头统一,不同型号的电源可互相支持,大幅降低备品需求。
可靠的冷却水路设计,电磁阀设计避免凝结水而损坏电源。
脉冲发生器与直流电源可任意分开,脉冲发生器可就近安装,最大限度减少高频的影响。
100% 德国制造,年损坏率小于1%。
平板显示行业-最高至最先进的G11代线
玻璃镀膜 -Lcow E
太阳能-CIGS/PECVD
工具镀膜/装饰镀膜
半导体微电子行业
光学镀膜 科研机构备
| 功率 | 输出电压 | 冷却方式 | 面板 | 通讯接口(可选) |
|---|---|---|---|---|
| 500W~30KW可选 | 250V;500V;750V;800V;1000V可选 | 风冷; 水冷可选 | 无显示面板; 显示面板; 主动面板; 被动面板 | AS4 Profibus RS232 RS485 EtherCat |