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直流电源-GS/GX/HX系列

等离子体直流电源是现代工业与科研的核心精密能量源。采用高频开关技术与智能闭环控制,实现精确稳定的功率输出,具备微秒级电弧抑制与自适应阻抗匹配能力。专为高端磁控溅射、等离子体CVD、表面改性等先进工艺提供可靠动力,确保工艺的卓越重复性与稳定性,赋能尖端制造与材料创新。

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直流电源-GS/GX/HX系列

产品特性

 

并联多个模块

基本模块从0.5 KW 到30KW, 可并联多个模块输出所需要的功率。

 

输出回路

输出回路内不会累积打弧能量,大幅降低发生打弧的机率。

 

自动清除打弧

动态打弧抑制电路设计(Dynamic Arc Kiler Circuit),无需复杂的软件设定,可自动清除打弧(Arc)。

 

有效省电

自动斜率输出模式(Auto Ramp Mode),大幅降低发生打弧。90%的功率转换效率,可有效省电10% 以上。

 

自我保护设计

短路自我保护设计、可避免因负载短路而造成机器损坏的可能性。

 

降低备品需求

通讯介面/电源输出/输入接头统一,不同型号的电源可互相支持,大幅降低备品需求。

 

冷却水路设计

可靠的冷却水路设计,电磁阀设计避免凝结水而损坏电源。

 

减少高频的影响

脉冲发生器与直流电源可任意分开,脉冲发生器可就近安装,最大限度减少高频的影响。

 

损坏率小

100% 德国制造,年损坏率小于1%。

应用领域

平板显示行业-最高至最先进的G11代线

玻璃镀膜 -Lcow E

太阳能-CIGS/PECVD

工具镀膜/装饰镀膜

半导体微电子行业

光学镀膜 科研机构备

规格参数


功率输出电压冷却方式面板通讯接口(可选)
500W~30KW可选250V;500V;750V;800V;1000V可选   风冷;
   水冷可选
  无显示面板;
  显示面板;
  主动面板;
  被动面板
  AS4
   Profibus
   RS232
   RS485
   EtherCat