半导体、液晶、数据存储装置、工业真空设备，工业用镀膜、光纤通讯、实验仪器、科学分析仪器等行业中，对离子扩散、溅射、气体燃烧，

CVD、PVD、PECVD。VOD/VAD拉丝工艺，表面处理等工艺中的非腐食性气体进行过程控制。