6月3日上海|恒运昌诚邀您莅临第十九届（2026）国际太阳能光伏和智慧能源大会暨展览会

关于恒运昌股份

深圳市恒运昌真空技术股份有限公司(证券简称:恒运昌，股票代码:688785)，为国内半导体射频电源领域首家上市企业，是国内领先的大规模集成电路薄膜沉积、等离子体刻蚀、光刻、去胶、离子注入及键合等设备的核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、气体流体精密控制，真空获得与计量零部组件的设计、研发、生产、销售及技术服务。

公司是国内技术领先、实现大批量产品交付的等离子体射频电源系统企业，产品可应用于异质结、钙钛矿电池制程，赋能光伏新能源产业发展。